Dépôts métalliques par pulvérisation magnétron dans l'hélium: quels mécanismes de formation de porosité ouverte ou fermée ?
1 : GREMI, UMR 7344, CNRS-université d'Orléans, 14 rue d'Issoudun, BP 6744, 45067 Orléans cedex 2
GREMI UMR7344
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Dépôts métalliques par pulvérisation magnétron dans l'hélium: quels mécanismes de formation de porosité ouverte ou fermée ?
1 : GREMI, UMR 7344, CNRS-université d'Orléans, 14 rue d'Issoudun, BP 6744, 45067 Orléans cedex 2 GREMI UMR7344
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