Dépôts métalliques par pulvérisation magnétron dans l'hélium: quels mécanismes de formation de porosité ouverte ou fermée ?
Dimitri Boivin  1@  , Théo Penaud  1@  , Sarah Ibrahim  1@  , Amael Caillard  1@  , Pascal Brault  1@  , Loic Gimenez  1@  , Anne-Lise Thomann  1@  
1 : GREMI, UMR 7344, CNRS-université d'Orléans, 14 rue d'Issoudun, BP 6744, 45067 Orléans cedex 2
GREMI UMR7344

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