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Diagnostics optiques sur un microplasma N2/Ar pour le dépôt de nitrure de bore hexagonal.
1 : Laboratoire des Sciences des Procédés et des Matériaux
Institut Galilée, Université Sorbonne Paris Cité, Centre National de la Recherche Scientifique, Université Sorbonne Paris nord
| Type : | : | Préférence : Poster "Jeunes" |
| Thématiques | : | Diagnostic |
| Thématiques | : | Session - Posters |
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